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  • 1200℃小型開啟式真空管式爐
    1200℃小型開啟式真空管式爐
    型號:
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    1200℃小型開啟式真空管式爐采用智能化程序控溫系統,可控硅控制,控溫精度高;雙層殼體結構,設計合理,外形美觀,結構緊湊;雙層爐殼間配有風冷系統,有效保證外殼表面溫度;真空級法蘭密封,結合我司標準真空、混氣系統,可抽真空通氣氛。

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  • SK2-2-12QA小型開啟式管式爐
    SK2-2-12QA小型開啟式管式爐
    型號:SK2-2-12QA
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    小型開啟式管式爐在真空壓力下,加在電感線圈的射頻電場,使反應室氣體發生輝光放電,在輝光發電區域產生大量的電子。這些電子在電場的作用下獲得充足的能量,其本身溫度很高,它與氣體分子相碰撞,使氣體分子活化。它們吸附在襯底上,并發生化學反應生成介質膜,副產物從襯底上解吸,隨主氣流由真空泵抽走,稱為等離子體增強化學氣相沉(PECVD)。

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